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應(yīng)用于CMP、WET、DF、Track等區(qū)域工藝機(jī)臺(tái)設(shè)備

工藝機(jī)臺(tái)設(shè)備本身對(duì)振動(dòng)和剛性無(wú)特殊需求，設(shè)備載荷700～1500 kg/m2，或設(shè)備腳位承重高于700kg/in2，高架地板無(wú)法承載重量，需要使用工字鋼或H型鋼做成鋼構(gòu)，上面鋪設(shè)鋼板來(lái)進(jìn)行承重。